臭氧易分解，不穩定參比狀態(tài)下臭氧的半衰期為 22~25 分鐘，一個(gè)小時(shí)的衰退率為 61% ，在 1% 的臭氧水溶液中半衰期約為 16 分鐘，且溫度越高，濕度越大，半衰期越短。臭氧具有很強的氧化能力。
臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧具有不穩定性。由于臭氧（O3）是由氧分子攜帶一個(gè)氧原子組成，決定了它只是一種暫存形態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣（O2）進(jìn)入穩定狀態(tài)。所以臭氧工作中沒(méi)有二次污染產(chǎn)生，這是臭氧技術(shù)應用的大性。

臭氧的應用主要是滅菌消毒。這主要是因為臭氧有的氧化能力，臭氧在一定濃度下能與細菌、病毒、病原體等微生物產(chǎn)生生化反應。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個(gè)氧原子（O），單個(gè)氧原子具有很強的活性，對細菌、病毒、病原體等微生物具有較強的氧化作用。
臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實(shí)現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。
臭氧在大氣中的含量很少，卻是橡膠龜裂的主要因素，進(jìn)口臭氧老化試驗箱用于測試橡膠在臭氧環(huán)境下的損壞程度。臭氧老化箱模擬和強化大氣中的臭氧條件，研究臭氧對橡膠的作用規律，快速鑒定和評價(jià)橡膠抗臭氧老化性能與抗臭氧劑防護效能的方法，進(jìn)而采取有效的防老化措施，以提高橡膠制品的使用壽命。
臭氧的應用主要以發(fā)生量來(lái)確定，分為氣態(tài)下消毒和液態(tài)下消毒兩大類(lèi)。臭氧發(fā)生量和使用量一般按照發(fā)生量的額定發(fā)生量乘以時(shí)間來(lái)確定，但在不同的用途和不同的場(chǎng)所應計出衰減量而后確定。臭氧發(fā)生器在使用中，氣源的配置直接影響臭氧的發(fā)生濃度、產(chǎn)量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業(yè)氧氣氣源四種，以上氣源的配置 ，在發(fā)生裝置相同的情況，濃度和產(chǎn)量依次遞增。按照應用常識，一般不應配置普通氣源，因為這會(huì )影響發(fā)生裝置的連接使用壽命并導致發(fā)生量不穩定。