臭氧發(fā)生器是用于制取臭氧氣體（O3）的裝置。臭氧易于分解無(wú)法儲存，需現場(chǎng)制取現場(chǎng)使用（特殊的情況下可進(jìn)行短時(shí)間的儲存），所以凡是能用到臭氧的場(chǎng)所均需使用臭氧發(fā)生器。臭氧發(fā)生器在飲用水，污水，工業(yè)氧化，食品加工和保鮮，醫藥合成，空間滅菌等領(lǐng)域廣泛應用。 臭氧發(fā)生器產(chǎn)生的臭氧氣體可以直接利用，也可以通過(guò)混合裝置和液體混合參與反應。

鑒別品質(zhì)：臭氧發(fā)生器品質(zhì)的優(yōu)劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。的臭氧發(fā)生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動(dòng)、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開(kāi)放式兩種。間隙放電式的結構特點(diǎn)是臭氧在內外電極區間的間隙內產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開(kāi)放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開(kāi)放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠開(kāi)放式。

臭氧發(fā)生器系統設計時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會(huì )造成發(fā)生器電暈室內灌水。電暈室內大量進(jìn)水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過(guò)早失效。即使檢測裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會(huì )沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內，至少會(huì )造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內。
工作原理：臭氧發(fā)生器應用的物理制氧原理，通過(guò)制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電暈放電生成臭氧；通過(guò)氣液混合系統進(jìn)行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。
電解池式臭氧發(fā)生器： 由于電極材料、電解液與電解機理方面的大量研究工作,電解法臭氧發(fā)生技術(shù)進(jìn)展很大。近期發(fā)展的SPE(固態(tài)聚合物電解質(zhì))電極與金屬氧化催化技術(shù),使用純水得到φ(O3)>14%的高濃度臭氧,使電解池式臭氧發(fā)生器的技術(shù)跨越了一大步。 Shiue,Lin-Ren等人的臭氧發(fā)生器電解池專(zhuān)利中用鈦電極板外表面覆蓋鉑層作為陰極,β-PbO2覆蓋的電極板作為陽(yáng)極,電池與超大電容器一起作為直流電源,電極上不需覆蓋其它薄膜,電解液用中性的鹽如NaCl來(lái)促進(jìn)臭氧氣體的產(chǎn)生。