臭氧的應用主要是滅菌消毒。這主要是因為臭氧有的氧化能力，臭氧在一定濃度下能與細菌、病毒、病原體等微生物產(chǎn)生生化反應。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個(gè)氧原子（O），單個(gè)氧原子具有很強的活性，對細菌、病毒、病原體等微生物具有較強的氧化作用。

臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實(shí)現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。

臭氧在大氣中的含量很少，卻是橡膠龜裂的主要因素，進(jìn)口臭氧老化試驗箱用于測試橡膠在臭氧環(huán)境下的損壞程度。臭氧老化箱模擬和強化大氣中的臭氧條件，研究臭氧對橡膠的作用規律，快速鑒定和評價(jià)橡膠抗臭氧老化性能與抗臭氧劑防護效能的方法，進(jìn)而采取有效的防老化措施，以提高橡膠制品的使用壽命。

臭氧的應用主要以發(fā)生量來(lái)確定，分為氣態(tài)下消毒和液態(tài)下消毒兩大類(lèi)。臭氧發(fā)生量和使用量一般按照發(fā)生量的額定發(fā)生量乘以時(shí)間來(lái)確定，但在不同的用途和不同的場(chǎng)所應計出衰減量而后確定。臭氧發(fā)生器在使用中，氣源的配置直接影響臭氧的發(fā)生濃度、產(chǎn)量和純度，氣源一般分為普通氣源、干燥空氣源、富氧氣源和工業(yè)氧氣氣源四種，以上氣源的配置 ，在發(fā)生裝置相同的情況，濃度和產(chǎn)量依次遞增。按照應用常識，一般不應配置普通氣源，因為這會(huì )影響發(fā)生裝置的連接使用壽命并導致發(fā)生量不穩定。
臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無(wú)殘余污染的氣體消毒劑比食品行業(yè)常用的消毒劑（如過(guò)氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會(huì )自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘余污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。
按臭氧產(chǎn)生部件的結構劃分，有密閉式和開(kāi)放式兩種。密閉式發(fā)生器的結構特點(diǎn)是密封體本身就是電極，臭氧能夠集中使用，如用于水處理。開(kāi)放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧無(wú)法集中使用，通常只用于較小空間的空氣凈化或某些小型物品表面消毒。密閉式發(fā)生器可代替開(kāi)放式發(fā)生器使用。密閉式發(fā)生器的成本遠開(kāi)放式發(fā)生器。值得注意的是，有些人把開(kāi)放式發(fā)生器硬性封裝起來(lái)，冒充密閉式發(fā)生器。這樣做的結果是由于大量的熱量無(wú)法及時(shí)散發(fā)，臭氧衰減嚴重，發(fā)生器也很快燒損。