臭氧是由一個(gè)氧分子（O2）攜帶一個(gè)氧原子（O）組成，是氧氣的同素異形體。與氧氣相比，臭氧比重大。有色、有味。在常溫下是淡藍色，草腥味。雷電過(guò)后，時(shí)可聞到其氣味。 1ppm 臭氧 =1.963mg/m3 。標準狀態(tài)下，臭氧密度ρ = 2.144g/l ，空氣ρ = 1.293g/l 。臭氧在水中的溶解度大約是氧的 10 — 15 倍，在水中穩定性較差。

臭氧易分解，不穩定參比狀態(tài)下臭氧的半衰期為 22~25 分鐘，一個(gè)小時(shí)的衰退率為 61% ，在 1% 的臭氧水溶液中半衰期約為 16 分鐘，且溫度越高，濕度越大，半衰期越短。臭氧具有很強的氧化能力。
臭氧水殺滅情況有些不同，其氧化反應有兩種，微生物菌體既與溶解水中的臭氧直接反應，又與臭氧分解生成之羥基OH的間接反應，由于羥基OH為氧化性的氧化劑，因此臭氧水的殺菌速度極快。

臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實(shí)現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。
臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無(wú)殘余污染的氣體消毒劑比食品行業(yè)常用的消毒劑（如過(guò)氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會(huì )自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘余污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。
按臭氧產(chǎn)生部件的結構劃分，有密閉式和開(kāi)放式兩種。密閉式發(fā)生器的結構特點(diǎn)是密封體本身就是電極，臭氧能夠集中使用，如用于水處理。開(kāi)放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧無(wú)法集中使用，通常只用于較小空間的空氣凈化或某些小型物品表面消毒。密閉式發(fā)生器可代替開(kāi)放式發(fā)生器使用。密閉式發(fā)生器的成本遠開(kāi)放式發(fā)生器。值得注意的是，有些人把開(kāi)放式發(fā)生器硬性封裝起來(lái)，冒充密閉式發(fā)生器。這樣做的結果是由于大量的熱量無(wú)法及時(shí)散發(fā)，臭氧衰減嚴重，發(fā)生器也很快燒損。
高壓放電式發(fā)生器： 該類(lèi)臭氧發(fā)生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場(chǎng)，使電場(chǎng)內或電場(chǎng)周?chē)难醴肿影l(fā)生電化學(xué)反應，從而制造臭氧。 這種臭氧發(fā)生器具有技術(shù)成熟、工作穩定、使用壽命長(cháng)、臭氧產(chǎn)量大（單機可達1Kg/h）等優(yōu)點(diǎn)，所以是國內外相關(guān)行業(yè)使用廣泛的臭氧發(fā)生器。