獲得方法：利用高壓電離(或化學(xué)、光化學(xué)反應)，使空氣中悼檔的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過(guò)程;亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實(shí)現瓶裝貯存 ，一般只能利用臭氧發(fā)生器現場(chǎng)生產(chǎn)，隨產(chǎn)隨用。 臭氧發(fā)生器的分類(lèi) 按臭氧產(chǎn)生的方式劃分，臭氧發(fā)生器主要有三種：一是高壓放電式，二是紫外線(xiàn)照射式，三是電解式。

鑒別品質(zhì)：臭氧發(fā)生器品質(zhì)的優(yōu)劣可從制造材料、系統配置、冷卻方式、工作頻率、控制方式、臭氧濃度、氣源和電能消耗指標等多方面鑒別。的臭氧發(fā)生器應是高介電材料制造、標準配置（含氣源和凈化裝置）、雙電極冷卻、高頻驅動(dòng)、智能控制、高臭氧濃度輸出、低電耗和低氣源消耗。

臭氧發(fā)生器中廣泛使用，但制造成本較高。按臭氧發(fā)生器結構劃分，有間隙放電式（DBD）和開(kāi)放式兩種。間隙放電式的結構特點(diǎn)是臭氧在內外電極區間的間隙內產(chǎn)生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。開(kāi)放式發(fā)生器的電極是裸露在空氣中的，所產(chǎn)生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣滅菌或某些小型物品表面消毒。間隙放電式發(fā)生器可代替開(kāi)放式發(fā)生器使用。但間隙放電式臭氧發(fā)生器成本遠開(kāi)放式。
臭氧發(fā)生器系統設計時(shí)，能防止大量水進(jìn)入到發(fā)生器內。
水封供氣壓縮機用的浮閥或空氣干燥器上的凝結水閥阻塞卡住，都會(huì )造成發(fā)生器電暈室內灌水。電暈室內大量進(jìn)水可導致電暈集中、高電流密度和局部電介體發(fā)熱，造成介電體過(guò)早失效。即使檢測裝置在水進(jìn)入電暈室之前切斷電暈電源，水中所含雜質(zhì)也會(huì )沉積在元件表面上，這些雜質(zhì)在繼續運行之前予以清除。運行故障或操作錯誤都能迫使處理出水從臭氧接觸池到流至發(fā)生器內，至少會(huì )造成電暈元件污染或者介電體損壞。此外，系統設計和操作規程阻止易燃的腐蝕性氣體及從臭氧接觸池回流的水蒸氣進(jìn)入發(fā)生器內。
工作原理：臭氧發(fā)生器應用的物理制氧原理，通過(guò)制氧塔的變壓吸附作用，在常溫常壓下直接將空氣中的氧和氮分離，取得高純度的氧氣；然后采用電暈放電法獲取臭氧，在常壓下使含氧氣體在交變高壓電場(chǎng)作用下產(chǎn)生電暈放電生成臭氧；通過(guò)氣液混合系統進(jìn)行水和臭氧的混合后，得到一定濃度的臭氧水。
放電式臭氧發(fā)生器： 為了改善放電狀況、提高放電效率,人們研究了如線(xiàn)狀、刷狀、螺線(xiàn)狀、網(wǎng)狀、水不同形式的電極。且放電形式局限于無(wú)聲、脈沖流注、電暈、沿面、無(wú)聲-沿面混合及輝光放電等形式 。 無(wú)聲放電(即介質(zhì)阻擋放電)的電介質(zhì)是無(wú)聲放電臭氧發(fā)生器的重要組成,其作用為強化氣隙的電場(chǎng)強度以利于產(chǎn)生放電;防止氣隙擊穿,同時(shí)減小功率消耗;使氣隙的電場(chǎng)均勻,擴大放電區域,利于臭氧的產(chǎn)生。一般而言,電介質(zhì)的介電系數越高,導熱性能越好越利于產(chǎn)生臭氧。臭氧發(fā)生器所用的電介質(zhì)主要有石英玻璃、陶瓷、搪瓷、有機材料等多種類(lèi)型。