臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實(shí)現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。

從世界的臭氧技術(shù)產(chǎn)業(yè)來(lái)看，以水處理的殺菌凈化為主要市場(chǎng)，而水凈化臭氧裝置包括臭氧源與氣水混合裝置兩部分。臭氧發(fā)生器應提供足夠濃度與產(chǎn)量的臭氧，混合裝置以率使臭氧溶解在水中，即達到一定的臭氧溶解度。因此，一臺好的臭氧發(fā)生器要有優(yōu)良的氣水混合裝置，使臭氧能地和水混合，使水中的臭氧溶解度能滿(mǎn)足完全殺菌。

食品行業(yè)應用臭氧的目的有兩個(gè)方面：一是殺滅微生物－殺菌消毒；二是氧化分解有機或無(wú)機物污染氣味－除臭凈化 。兩方面的應用基礎均依賴(lài)于O3的強氧化性能和不穩定易分解的特性 。臭氧去除異味性能。依靠其氧化性能可快速分解產(chǎn)生臭味及其他氣味的有機或無(wú)機物質(zhì)。臭味的主要成分是胺R3N、硫化氫H2S、甲硫醇CH3SH等。臭氧對其氧化分解，生成物沒(méi)有氣味。

紫外線(xiàn)以光波輻射作用殺菌，只有照射到的位置且達到照射強度標準才有殺菌效果。食品加工車(chē)間很高、很大，照射強度與距離平方成反比，強度不夠，照射又有很大死角。臭氧為氣體，擴散性好，無(wú)死角，濃度均勻紫外線(xiàn)殺菌在相對濕度60%以上時(shí)效果急劇下降，80%濕度上時(shí)反可誘使細菌復活。臭氧則相反，濕度越高殺菌效果越好，對食品行業(yè)80%－90%高濕環(huán)境特別適合

臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無(wú)殘余污染的氣體消毒劑比食品行業(yè)常用的消毒劑（如過(guò)氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會(huì )自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘余污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。

高壓放電式發(fā)生器： 該類(lèi)臭氧發(fā)生器是使用一定頻率的高壓電流制造高壓電暈電場(chǎng)，使電場(chǎng)內或電場(chǎng)周?chē)难醴肿影l(fā)生電化學(xué)反應，從而制造臭氧。 這種臭氧發(fā)生器具有技術(shù)成熟、工作穩定、使用壽命長(cháng)、臭氧產(chǎn)量大（單機可達1Kg/h）等優(yōu)點(diǎn)，所以是國內外相關(guān)行業(yè)使用廣泛的臭氧發(fā)生器。