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臭氧具有不穩定性。由于臭氧（O3）是由氧分子攜帶一個(gè)氧原子組成，決定了它只是一種暫存形態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣（O2）進(jìn)入穩定狀態(tài)。所以臭氧工作中沒(méi)有二次污染產(chǎn)生，這是臭氧技術(shù)應用的大性。
臭氧殺菌機理以氧化作用破壞微生物膜的結構實(shí)現殺菌作用。臭氧作用于細胞膜，使膜構成成份受損傷而導致新陳代謝障礙，臭氧繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。而臭氧滅活病毒則認為氧化作用直接破壞其核糖核酸RNA或脫氧核糖核酸DNA物質(zhì)而完成的。
臭氧與消毒劑比較： 臭氧作為廣譜無(wú)殘余污染的氣體消毒劑比食品行業(yè)常用的消毒劑（如過(guò)氧乙酸、高錳酸鉀、甲醛、二氧化硫）等具有特殊的性臭氧會(huì )自行分解為氧氣，不產(chǎn)生殘余污染，消毒后不需通風(fēng)換氣。常規消毒均需通風(fēng)換氣或化學(xué)中和，麻煩而又降低消毒效果。
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