江蘇港閘濾波柜回收 江蘇港閘提拉式長(cháng)晶爐回收

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提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉部件:實(shí)現了籽晶軸較高轉速時(shí)的系統平穩性；籽晶軸旋轉及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無(wú)泄露，長(cháng)期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅動(dòng)直流伺服電機均為進(jìn)口件，確保系統具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過(guò)嚴格的靜平衡和動(dòng)平衡測試，高速旋轉下籽晶晃動(dòng)小于2mm，適應半導體工藝需求。坩堝升降及旋轉部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動(dòng)直線(xiàn)導航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設計，確保坩堝系統在超重低速工況下長(cháng)期平穩運行。浮動(dòng)式翻板閥設在主副爐室之間，可在熱場(chǎng)維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補充加料進(jìn)行連續拉晶。

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服務(wù)宗旨：誠實(shí)、公正、守信、價(jià)格合理、平等互利。業(yè)務(wù)人員拆運自提回收，按市場(chǎng)的時(shí)價(jià)，給顧客一個(gè)合理價(jià)格，以求長(cháng)遠的合作。介紹業(yè)務(wù)者有豐厚酬勞!

具體實(shí)施方式、本實(shí)施例的直拉式單晶生長(cháng)爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導向裝置20;其包括設于氣流導向裝置20底部的中軸 孔2-l、設于所述中軸孔2-1兩側的一對電極孔2-2、以及設于所述中軸孔 2-1兩側并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過(guò)所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過(guò)所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導向裝置20的上端部2-4設于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，本發(fā)明可通過(guò)加料器升降驅動(dòng)裝置和加料器旋轉驅動(dòng)裝置將外部加料器移出工作位并旋開(kāi)，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅動(dòng)裝置和加料器旋轉驅動(dòng)裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過(guò)副爐室升降驅動(dòng)裝置和副爐室旋轉驅動(dòng)裝置驅動(dòng)副爐室移動(dòng)，并在副爐室移取晶位的過(guò)程中，通過(guò)電動(dòng)接晶托防止晶棒掉落，安全；、當不再繼續加料時(shí)，通過(guò)化料器升降驅動(dòng)裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過(guò)化料器旋臂的旋轉旋開(kāi)外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過(guò)減震裝置對下驅動(dòng)裝置進(jìn)行減震，使拉晶時(shí)下驅動(dòng)裝置不受外界震動(dòng)影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。

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