配合不同探測器的選擇，使Sigma 廣泛地適用于您的應用：無(wú)論是正在開(kāi)發(fā)的新材料、用于質(zhì)量檢查的顆粒還是生物或地質(zhì)標本，該電鏡可助您研究各種樣品。在極端條件下，利用可變壓力（VP）成像，借助NanoVPlite，即使在低電壓下，也能在非導體上獲得出色的圖像和分析結果。

掃描電鏡圖像的形成需要各個(gè)系統相互配合，電子光學(xué)系統為掃描電鏡提供的電子束，信號探測系統將電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號進(jìn)行采集與處理。電子光學(xué)系統內容請參考往期文章，本篇主要對掃描電鏡的信號探測系統進(jìn)行介紹。

蔡司解決方案在增材制造領(lǐng)域的應用范圍覆蓋粉末和材料分析，所使用的設備包括光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡、X射線(xiàn)技術(shù)。
使用光學(xué)顯微鏡來(lái)測試金屬粉末的粒徑分布
使用SEM掃描電鏡對3D打印金屬粉末的球形度和實(shí)心性進(jìn)行分析
使用CT對粉末顆粒的寬高比和粒徑進(jìn)行分析
對于內部缺陷，蔡司的解決方案也能輕松檢測，比如微裂紋、分層、疲勞裂紋、盈利、孔隙率、粉末殘留物和氣孔等。

特點(diǎn)
使用多視角成像功能查找樣品在成像物鏡中的佳位置
在進(jìn)行樣品信息的后期處理前，從不同視角采集信息對整個(gè)樣品成像
通過(guò)重組不同視角的信息來(lái)提高圖像的分辨率，然后使用特殊的去卷積算法進(jìn)一步提高圖像質(zhì)量

電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì )產(chǎn)生二次電子、背散射電子、俄歇電子以及X射線(xiàn)等一系列信號。所以需要不同的探測器譬如二次電子探測器、X射線(xiàn)能譜分析儀等來(lái)區分這些信號以獲得所需要的信息。雖然X射線(xiàn)信號不能用于成象，但習慣上，仍然將X射線(xiàn)分析系統劃分到成象系統中。
有些探測器造價(jià)昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測器，這時(shí)，可以使用二次電子探測器代替，但需要設定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除二次電子。

掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多的性能、是用途為廣泛的一種儀器．它可以進(jìn)行如下基本分析：?
1、觀(guān)察納米材料
：
其具有很高的分辨率，可以觀(guān)察組成材料的顆?；蛭⒕С叽缭?.1-100nm范圍內，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。
2、材料斷口的分析：
其景深大，圖象富立體感，具有三維形態(tài)，能夠從斷口形貌呈現材料斷裂的本質(zhì)，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個(gè)強有力的手段。?
3、直接觀(guān)察大試樣的原始表面：
它能夠直接觀(guān)察直徑100mm，高50mm，或更大尺寸的試樣，對試樣的形狀沒(méi)有任何限制，粗糙表面也能觀(guān)察，這便免除了制備樣品的麻煩，而且能真實(shí)觀(guān)察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度（背散射電子象）。
4、觀(guān)察厚試樣：
其在觀(guān)察厚試樣時(shí)，能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。
5、觀(guān)察試樣的各個(gè)區域的細節：
試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大，可以在三度空間內有6個(gè)自由度運動(dòng)（即三度空間平移、三度空間旋轉），這對觀(guān)察不規則形狀試樣的各個(gè)區域帶來(lái)的方便。
6、在大視場(chǎng)、低放大倍數下觀(guān)察樣品，用掃描電鏡觀(guān)察試樣的視場(chǎng)大：
大視場(chǎng)、低倍數觀(guān)察樣品的形貌對有些領(lǐng)域是很必要的，如刑事偵察和考古。?
7、進(jìn)行從高倍到低倍的連續觀(guān)察：
掃描電鏡的放大倍數范圍很寬（從5到20萬(wàn)倍連續可調），且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀(guān)察，不用重新聚焦，這對進(jìn)行分析特別方便。?
8、觀(guān)察生物試樣：
由于電子照射面發(fā)生試樣的損傷和污染程度很小，這一點(diǎn)對觀(guān)察一些生物試樣特別重要。?
9、進(jìn)行動(dòng)態(tài)觀(guān)察：
如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎曲、拉伸和離子刻蝕等附件，則可以觀(guān)察相變、斷烈等動(dòng)態(tài)的變化過(guò)程。?
10、從試樣表面形貌獲得多方面資料：
因為掃描電子象不是同時(shí)記錄的，它是分解為近百萬(wàn)個(gè)逐次依此記錄構成的。使得掃描電鏡除了觀(guān)察表面形貌外還能進(jìn)行成分和元素的分析，以及通過(guò)電子通道花樣進(jìn)行結晶學(xué)分析，選區尺寸可以從10μm到3μm。?
由于掃描電鏡具有上述特點(diǎn)和功能，所以越來(lái)越受到科研人員的重視，用途日益廣泛?，F在掃描電鏡已廣泛用于材料科學(xué)（金屬材料、非金屬材料、納米材料）、冶金、生物學(xué)、醫學(xué)、半導體材料與器件、地質(zhì)勘探、病蟲(chóng)害的防治、災害（火災、失效分析）鑒定、刑事偵察、寶石鑒定、工業(yè)生產(chǎn)中的產(chǎn)品質(zhì)量鑒定及生產(chǎn)工藝控制等。
設備廠(chǎng)家
德國蔡司、日本電子、日立、FEI等
測試機構
各大高校、科研院所等
疑難解答
1、樣品導電性不好的話(huà)，對成像會(huì )有什么影響？
樣品導電性不好會(huì )產(chǎn)生放電現象（也有人叫荷電現象）。像會(huì )有很亮很亮地方出現。解決辦法：減低加速電壓，用BSE探頭，或者低真空[A10]?。
2、加高壓及關(guān)高壓后放氣各有什么主意事項呢?
加高壓般要達到額定真空，否則氣體電離度大、損傷電子槍?zhuān)请婄R軟件一般都已經(jīng)設置好，不到工作真空，根本加不上去高壓，所以只要能夠加高壓，也無(wú)其他特別的問(wèn)題;做完電鏡關(guān)閉高壓，等30秒以上，待燈絲冷卻后再放氣為宜，主要也是為了保護電子槍。
3、SEM升樣品臺有什么主意事項呢?
樣品臺有它的額定移動(dòng)距離，包括平面方向和上下方向，平面方向移動(dòng)到極會(huì )有報警提示，看到提示往回移動(dòng)即可。高度方向也如此，但是要注意向上移動(dòng)時(shí)，要緩慢，要防止堅硬的試樣撞擊上方的探測器和極靴，損壞設備

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