無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無(wú)塵潔凈烤箱內物品放置切勿過(guò)擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無(wú)防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機、加熱管、拉手等應定期保養，清潔灰塵。要做好無(wú)塵潔凈烤箱的日常維護保養工作，使用、維護應有專(zhuān)職人員進(jìn)行，保養時(shí)先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預防材料在烤箱內變質(zhì)。在過(guò)去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過(guò)使用無(wú)塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。

無(wú)塵烤箱的工作原理是通過(guò)利用熱沉降法來(lái)烤材料。當烤箱內部氣流流動(dòng)時(shí)，熱量會(huì )被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會(huì )逐漸提高，從而完成烤制過(guò)程。在烤箱內，熱量會(huì )被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個(gè)材料得到均勻的加熱同時(shí)，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現象，從而大大減少煙塵的排放。

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