供應商 | 泰安泰山東方鍋爐有限公司 店鋪 |
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認證 | |
報價(jià) | 面議 |
品牌 | 泰山東方鍋爐 |
鍋爐用途 | 工業(yè)鍋爐 |
安裝方式 | 快裝鍋爐 |
關(guān)鍵詞 | 蒸汽鍋爐,燃氣鍋爐,生物質(zhì)鍋爐,導熱油鍋爐 |
所在地 | 山東泰安市 |
8年
懸浮分子污染(AMC)4.1AMC的分類(lèi)及控制要求情況AMC作為IC工廠(chǎng)所關(guān)心的問(wèn)題于2年前先由日本人提出,近年來(lái),IC生產(chǎn)園片直徑已達3mm,工藝加工尺寸(線(xiàn)寬)已小于.15m,在某些加工工序及工序間園片的傳送和存放環(huán)境中AMC已成為嚴重影響成品率的問(wèn)題,已被清楚的認識到,AMC的控制已由談?wù)撧D到需要實(shí)施。對于IC生產(chǎn),AMC分為D四類(lèi),即:A酸性物質(zhì),如Hcl等;B堿性物質(zhì),如NH3等;C沸點(diǎn)室溫能在光潔表面冷凝的物質(zhì),主要是碳氫化合物,某些工藝加工環(huán)境中的水蒸汽亦需要考慮;D摻雜物質(zhì),能為園片表面吸附或與表面相互反應的物質(zhì),如砷、硼、磷等。
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