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氧化鋁拋光液是一種常用的表面處理劑，廣泛應用于金屬、陶瓷、塑料等材料的拋光過(guò)程中。它由氧化鋁微粒和穩定劑組成，具有良好的拋光效果和穩定性。
在使用氧化鋁拋光液時(shí)，需要注意以下幾點(diǎn)：
1. 選擇適合的顆粒大小和穩定劑類(lèi)型，根據需要進(jìn)行調配。
2. 在拋光過(guò)程中，控制拋光液的溫度、濃度和拋光時(shí)間，以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質(zhì)量和穩定性，及時(shí)更換或補充添加。
氧化鋁拋光液是一種以多晶氧化鋁為主，氧化鋁顆粒大小均勻，相比氧化硅拋光液加工效率提高約3-4倍，成本節約30-50%，加工流程縮短，且不會(huì )在工件表面上形成硅元素結晶，減少清洗成本。
目前市場(chǎng)上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩定性好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應用于藍寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型，其中常見(jiàn)的為α、β、γ等，一般選用50～200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液，涉及半導體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域，其所用原料的重量百分比分別為：氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調節劑0.1?10、余量為高純水；其制備過(guò)程為：①備料；②磨料預處理；③混合；④pH值調節；⑤高壓均質(zhì)。
氧化鋁拋光液具有以下性能：
1、晶相穩定、硬度高、顆粒小且分布均勻，懸浮穩定性好；
2、磨削力強、拋光快、光度亮、鏡面效果好；
3、研磨，拋光效果好，研磨效率遠遠二氧化硅等軟質(zhì)磨料，表面光潔度優(yōu)于白剛玉的拋光效果，切削力強、出光快、能拋出均勻而明亮的興澤。
4、適用范圍廣，拋光后容易清洗。
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