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在使用氧化鋁拋光液時(shí),需要注意以下幾點(diǎn):
1. 選擇適合的顆粒大小和穩定劑類(lèi)型,根據需要進(jìn)行調配。
2. 在拋光過(guò)程中,控制拋光液的溫度、濃度和拋光時(shí)間,以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質(zhì)量和穩定性,及時(shí)更換或補充添加。
目前市場(chǎng)上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩定性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛應用于藍寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見(jiàn)的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液具有以下性能:
1、晶相穩定、硬度高、顆粒小且分布均勻,懸浮穩定性好;
2、磨削力強、拋光快、光度亮、鏡面效果好;
3、研磨,拋光效果好,研磨效率遠遠二氧化硅等軟質(zhì)磨料,表面光潔度優(yōu)于白剛玉的拋光效果,切削力強、出光快、能拋出均勻而明亮的興澤。
4、適用范圍廣,拋光后容易清洗。
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