通過(guò)聚焦透鏡后，光束可以直接或通過(guò)偏轉系統偏轉后用于焊接。它由兩對線(xiàn)圈組成，每個(gè)X和Y方向一個(gè)。這些可以用于“靜態(tài)”或“動(dòng)態(tài)”偏轉。靜態(tài)偏轉對于通過(guò)焊接定位梁很有用。動(dòng)態(tài)偏轉是通過(guò)向偏轉線(xiàn)圈提供可由計算機控制的電流來(lái)實(shí)現的。這為電子束應用開(kāi)辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉系統也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當的電子設備）。在這種情況下，設備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類(lèi)似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過(guò)熔化薄的表面層在金屬表面“寫(xiě)”或“畫(huà)”圖片。

電子束設備為束發(fā)生器提供適當的電源。加速電壓可以在30到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著(zhù)電壓的升高，技術(shù)問(wèn)題和設備價(jià)格迅速上升，因此，只要有可能，就應選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽(yáng)極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過(guò)電磁透鏡聚集，使能量密度十分會(huì )集，可以把一千瓦或更高的功率會(huì )集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬(wàn)分之一秒時(shí)間內升高到攝氏幾千度以上，熱量還來(lái)不及向周?chē)鷶U散，就已把局部材料瞬時(shí)熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著(zhù)孔不斷變深，電子束焊機照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內側壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

20 世紀 60 年代初，電子束焊機逐漸運用于飛機制造業(yè)和宇航工業(yè)中名貴金屬的焊接。跟著(zhù)現代航空和宇航等技術(shù)的運用而敏捷展開(kāi)起來(lái)，成功地處理了為現代產(chǎn)品而展開(kāi)的各種新式材料的焊接問(wèn)題。電子束焊接并且在汽車(chē)工業(yè)、船舶工業(yè)和機械制造業(yè)等領(lǐng)域運用也日益廣泛。

一臺典型的真空電子束焊機首要包括了主機，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統和監測控制器四大部分。
1.真空電子束焊機主機由電子槍、真空室和工件傳動(dòng)系統及操作臺組成。
2.真空電子束焊機的高壓電源包括：陽(yáng)壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統。
3.真空電子束焊機的控制箱包括：高壓電源控制設備、電子槍陰極加熱電源的控制系統、束流控制設備、聚集電源控制設備，以及束偏轉發(fā)生器等。
4.真空抽氣系統包括：電子槍抽氣系統、作業(yè)室抽氣系統?以及真空控制及監測設備。