一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以?xún)仁钦５?。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內
(3)開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時(shí)間。( 4)開(kāi)啟鼓風(fēng)開(kāi)關(guān)，開(kāi)啟加熱開(kāi)關(guān)，開(kāi)始工作
2.無(wú)塵潔凈烘箱工作中:
(1)專(zhuān)心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開(kāi)加工區

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(cháng)亮，達到設置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

無(wú)塵潔凈烤箱內外應經(jīng)常保持清潔，長(cháng)期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開(kāi)箱門(mén)，加熱過(guò)程中務(wù)必風(fēng)機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無(wú)塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養知識。

檢查無(wú)塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車(chē)烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開(kāi)機操作前檢查臺車(chē)烘箱是否有漏電現象，若漏電嚴禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過(guò)3cm，合上電源總開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮。 按下無(wú)塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機運轉，溫控器通電。初次使用應檢查風(fēng)機轉向，右側風(fēng)機從電機端看進(jìn)去應為逆時(shí)針轉，轉向不符應改變電源相序。