無(wú)塵潔凈烘箱是一種新型可營(yíng)造無(wú)氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時(shí)充入氮氣，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿(mǎn)足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表，工廠(chǎng)，高等院校，科研部門(mén)等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿(mǎn)涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過(guò)濾器，達到潔凈無(wú)塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀(guān)，使用方便控溫靈敏

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過(guò)額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設置溫度不合理會(huì )造成固態(tài)物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開(kāi)；4、為避免控溫失靈，需有專(zhuān)人定時(shí)查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開(kāi)放氣閥門(mén)。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱的工作原理是通過(guò)利用熱沉降法來(lái)烤材料。當烤箱內部氣流流動(dòng)時(shí)，熱量會(huì )被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會(huì )逐漸提高，從而完成烤制過(guò)程。在烤箱內，熱量會(huì )被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個(gè)材料得到均勻的加熱同時(shí)，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現象，從而大大減少煙塵的排放。