用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無(wú)塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(cháng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過(guò)濾器，每次運風(fēng)循環(huán)均充分過(guò)濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過(guò)濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過(guò)濾器反復過(guò)濾，了進(jìn)入無(wú)塵空間的熱風(fēng)達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風(fēng)系統，了各潔凈區之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(cháng)亮，達到設置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

按動(dòng)“加熱”開(kāi)關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車(chē)烘箱溫度上升接近設定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺車(chē)烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結束后應立即關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進(jìn)氣口，調節進(jìn)氣口大小可調節烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實(shí)際情況合理調節進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開(kāi)始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門(mén)，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當無(wú)塵潔凈烤箱內溫度較高時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣門(mén)，以利于水分排出。

無(wú)塵潔凈烤箱內物品放置切勿過(guò)擠，留出空間，以利熱空氣循環(huán)，無(wú)防爆裝置，不得放入易燃易爆物品干燥，使用安全，易耗品如密封圈、熱風(fēng)電機、加熱管、拉手等應定期保養，清潔灰塵。要做好無(wú)塵潔凈烤箱的日常維護保養工作，使用、維護應有專(zhuān)職人員進(jìn)行，保養時(shí)先切斷電源，安全。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱是一種用于制造、低污染的產(chǎn)品的設備。它的原理是將材料在高溫環(huán)境下烤制，可以有效地降低灰塵的排放，預防材料在烤箱內變質(zhì)。在過(guò)去，制作特定產(chǎn)品時(shí)，在低溫下烘烤，因此產(chǎn)生的灰塵量很大。通過(guò)使用無(wú)塵烤箱，可以有效地降低灰塵污染產(chǎn)品的質(zhì)量和潔凈度。