特點(diǎn)
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場(chǎng)地潔凈等級達到class1000#前提下，實(shí)驗室內能有效過(guò)濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場(chǎng)地占用面積，。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無(wú)塵潔凈烤箱內外應經(jīng)常保持清潔，長(cháng)期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開(kāi)箱門(mén)，加熱過(guò)程中務(wù)必風(fēng)機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無(wú)塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養知識。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀(guān)察臺車(chē)烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風(fēng)條件的室內，在其周?chē)豢煞胖靡兹家妆锲贰?br/>
一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。

無(wú)塵烤箱的工作原理是通過(guò)利用熱沉降法來(lái)烤材料。當烤箱內部氣流流動(dòng)時(shí)，熱量會(huì )被沉降到接近材料表面，而表面溫度則會(huì )逐漸提高，從而完成烤制過(guò)程。在烤箱內，熱量會(huì )被比較地混合和分散此熱量可以全面加熱材料的表面和內部，使整個(gè)材料得到均勻的加熱同時(shí)，由于熱量的比較均勻的分布，可以明顯降低蒸發(fā)現象，從而大大減少煙塵的排放。