用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以?xún)仁钦５?。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無(wú)塵潔凈烘箱的操作要求:
1.氮氣口:操作前應將氮氣接通本機之氮氣口，特別注意在接通前先將N2壓力調節至適合的流量值。
2.將烘烤物置入箱內后須將門(mén)面關(guān)閉，門(mén)扣確實(shí)扣緊后，門(mén)面安全開(kāi)關(guān)有作用，機臺才能順利啟動(dòng)。
3.無(wú)塵潔凈烘箱后方之冷卻排風(fēng)口，請接至排氣系統冷卻時(shí)有高溫，接管須加保溫隔熱以防操作人員燙傷或影響工作環(huán)境。
在開(kāi)始工作前的話(huà)要確認電氣是否正常，將檢測物品正確放置箱內，開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調整溫控儀表、適當的溫度與加熱恒溫時(shí)間，并目操作人員要專(zhuān)心操作并配戴防護器具:并不得離開(kāi)加工區

無(wú)塵潔凈烘箱是一種新型可營(yíng)造無(wú)氧的恒溫環(huán)境的電熱鼓風(fēng)干燥箱，在加溫工作的同時(shí)充入氮氣，適用高溫易氧化產(chǎn)品烘烤，可滿(mǎn)足半導體電子、金屬、晶圓、油墨、醫療衛生儀器、儀表，工廠(chǎng)，高等院校，科研部門(mén)等相關(guān)單位作生產(chǎn)烘實(shí)驗的需要。該烘箱采用不銹鋼工作室(滿(mǎn)涅制造、覆套不銹鋼加熱器加熱，充入惰性氣體，因此干娛箱內造成潔凈(可選裝耐高溫過(guò)濾器，達到潔凈無(wú)塵要求)和溫度均勻的微氧高溫環(huán)境(含氧濃度20-500PPM )，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量，該箱外形美觀(guān)，使用方便控溫靈敏

無(wú)塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(cháng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過(guò)濾器，每次運風(fēng)循環(huán)均充分過(guò)濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過(guò)濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過(guò)濾器反復過(guò)濾，了進(jìn)入無(wú)塵空間的熱風(fēng)達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風(fēng)系統，了各潔凈區之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

溫度設置1、設置溫度不可超過(guò)額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設置溫度不合理會(huì )造成固態(tài)物料熔融結塊等現象；2、數顯溫度需正常指示，若不顯示或出現閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人；3、操作人員需待實(shí)際溫度與設置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開(kāi)；4、為避免控溫失靈，需有專(zhuān)人定時(shí)查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開(kāi)放氣閥門(mén)。

按動(dòng)“加熱”開(kāi)關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車(chē)烘箱溫度上升接近設定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺車(chē)烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結束后應立即關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進(jìn)氣口，調節進(jìn)氣口大小可調節烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實(shí)際情況合理調節進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開(kāi)始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門(mén)，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當無(wú)塵潔凈烤箱內溫度較高時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣門(mén)，以利于水分排出。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。