保養方法
日保養

1． 打掃表面及內腔灰塵，保持機器干凈、衛生。

2． 檢查電流表電流跟正常時(shí)是否一樣，如有異樣，通知維修工檢修。

3． 突然停電，要把加熱開(kāi)關(guān)關(guān)閉，防止來(lái)電時(shí)自動(dòng)啟動(dòng)。

4． 檢查風(fēng)機運轉是否正常，有無(wú)異常聲音，如有立即關(guān)閉機器并通知維修工檢修。

月保養

1． 檢查通風(fēng)口是否堵塞，并清理積塵。

2． 風(fēng)機運轉是否正常。

3． 維修工檢查電流是否正常。

4． 檢查溫控器是否準確，如不準確，請調整溫控器的靜態(tài)補償或傳感器修正值。

5． 檢查發(fā)熱管有無(wú)損壞，線(xiàn)路是否老化。

6． 檢查延時(shí)器是否準確，誤差是否允許。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無(wú)塵潔凈烘箱的使用注意事項及操作規程
A.以電力為熱源(電加熱)，可長(cháng)期在250°C溫度下工作，提供了安全可靠的。
B.烘烤區的溫度是由微電腦PID控制或采用PLC控制，可對烘箱內溫度實(shí)時(shí)多點(diǎn)顯示及自動(dòng)記錄。C出風(fēng)口裝有耐高溫空氣過(guò)濾器，每次運風(fēng)循環(huán)均充分過(guò)濾(CLASS100 )，有效防止外界空氣對內部的二次污染.D.裝有過(guò)濾器，電熱烘箱內部循環(huán)熱風(fēng)經(jīng)高溫空氣過(guò)濾器反復過(guò)濾，了進(jìn)入無(wú)塵空間的熱風(fēng)達到100級潔凈之要求。
E雙層潔凈烘箱采用完全立的可編程加熱控制系統及運風(fēng)系統，了各潔凈區之間的隔離，防止了由于誤操作而引起的不符合GMP要求的事故發(fā)生。
F.必要時(shí)潔凈烘箱還可加裝充氮接口(充入惰性氣體保護)，防止被烘烤產(chǎn)品的氧化

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內
(3)開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時(shí)間。( 4)開(kāi)啟鼓風(fēng)開(kāi)關(guān)，開(kāi)啟加熱開(kāi)關(guān)，開(kāi)始工作
2.無(wú)塵潔凈烘箱工作中:
(1)專(zhuān)心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開(kāi)加工區

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(cháng)亮，達到設置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

無(wú)塵潔凈烤箱內外應經(jīng)常保持清潔，長(cháng)期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開(kāi)箱門(mén)，加熱過(guò)程中務(wù)必風(fēng)機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無(wú)塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養知識。

按動(dòng)“加熱”開(kāi)關(guān)（加熱器通電），無(wú)塵潔凈烤箱進(jìn)入正常工作，根據工藝要求設定溫度，當臺車(chē)烘箱溫度上升接近設定值時(shí)，加熱器電源時(shí)通時(shí)斷，臺車(chē)烘箱進(jìn)入恒溫工作。無(wú)塵潔凈烤箱操作結束后應立即關(guān)閉電源開(kāi)關(guān)，做好無(wú)塵潔凈烤箱的清潔和保養工作。無(wú)塵潔凈烤箱正面上方設有一圓形進(jìn)氣口，調節進(jìn)氣口大小可調節烘箱的進(jìn)氣量，其進(jìn)氣量增加，箱頂排氣口排氣量也增加，可根據實(shí)際情況合理調節進(jìn)排氣量，一般無(wú)塵潔凈烤箱剛開(kāi)始啟動(dòng)或溫度較低時(shí)關(guān)閉進(jìn)氣門(mén)，以利無(wú)塵潔凈烤箱的溫度上升，當無(wú)塵潔凈烤箱內溫度較高時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣門(mén)，以利于水分排出。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀(guān)察臺車(chē)烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風(fēng)條件的室內，在其周?chē)豢煞胖靡兹家妆锲贰?/p>