特點(diǎn)
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場(chǎng)地潔凈等級達到class1000#前提下，實(shí)驗室內能有效過(guò)濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場(chǎng)地占用面積，。

一般的電熱真空無(wú)塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進(jìn)行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時(shí)接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數。一般講，200℃工況時(shí)儀表的溫度讀數與玻璃棒溫度計的讀數兩者相差30℃以?xún)仁钦５?。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個(gè)可能不可靠環(huán)節。如果從操作實(shí)用角度考慮不希望看到這個(gè)差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無(wú)塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區、加熱系統、轉子流量計，氣體減壓調節閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區內壁選用不銹鋼板、箱體與內室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門(mén)與烘烤區邊框裝有保溫密封條(耐高溫門(mén)封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節約氮氣，洪烤區內配置抽動(dòng)的三層載物網(wǎng)板( 可按需設計)。

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

檢查無(wú)塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車(chē)烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開(kāi)機操作前檢查臺車(chē)烘箱是否有漏電現象，若漏電嚴禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過(guò)3cm，合上電源總開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮。 按下無(wú)塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機運轉，溫控器通電。初次使用應檢查風(fēng)機轉向，右側風(fēng)機從電機端看進(jìn)去應為逆時(shí)針轉，轉向不符應改變電源相序。

無(wú)塵潔凈烤箱需要使用定時(shí)器時(shí)，先將定時(shí)時(shí)間值設定好，再將定時(shí)開(kāi)關(guān)擰在“開(kāi)”的位置即可，如果需要觀(guān)察臺車(chē)烘箱的濕度，請按下濕度表下面的紅色開(kāi)關(guān)。受熱后易燃易爆的物料不能進(jìn)入潔凈烘箱烘烤，操作中如有異常情況，應立即停機檢查，待維修正常后使用。無(wú)塵潔凈烤箱外殼有良好接地，應放置在具有良好通風(fēng)條件的室內，在其周?chē)豢煞胖靡兹家妆锲贰?/p>