特點(diǎn)
1. 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

2. 耐高溫，在工作場(chǎng)地潔凈等級達到class1000#前提下，實(shí)驗室內能有效過(guò)濾微塵而達到潔凈等級class100#；

3. 疊成組合式，減少場(chǎng)地占用面積，。

用途
無(wú)塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。

無(wú)塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般的電熱（鼓風(fēng)）無(wú)塵干燥箱均設有溫度均勻度參數：自然對流式的干燥箱為工作溫度上限乘3%，強制對流式的干燥箱為工作溫度上限乘2.5%。惟電熱真空干燥箱不設溫度均勻度參數，這是為什么？真空干燥箱內依靠氣體分子運動(dòng)使工作室溫度達到均勻的可能性幾乎已經(jīng)沒(méi)有了。因此，從概念上我們就不能再把通常電熱（鼓風(fēng)）干燥箱所規定的溫度均勻度定義用到真空干燥箱上來(lái)。在真空狀態(tài)下設這個(gè)指標也是沒(méi)有意義的。熱輻射的量與距離的平方成反比。同一個(gè)物體，距離加熱壁20cm處所接受的輻射熱只是距離加熱壁10cm處的1/4。差異很大。這種現象與冬天曬太陽(yáng)時(shí)，曬到太陽(yáng)的一面很暖和，曬不到太陽(yáng)的一面比較冷是一個(gè)道理。由于真空干燥箱在結構上很難做到使工作室三維空間內的各點(diǎn)輻射熱的均勻一致，同時(shí)也缺乏的評估方法，這有可能是電熱真空干燥箱標準中不設溫度均勻度參數的原因。

工作步驟:
1.工作前:
(1)確認電氣是否正常
(2)將欲烘烤產(chǎn)品放置烘箱內
(3)開(kāi)啟電源開(kāi)關(guān)并調整溫控儀表適當溫度與加熱恒溫時(shí)間。( 4)開(kāi)啟鼓風(fēng)開(kāi)關(guān)，開(kāi)啟加熱開(kāi)關(guān)，開(kāi)始工作
2.無(wú)塵潔凈烘箱工作中:
(1)專(zhuān)心操作并配戴防護器具
(2)操作人員嚴禁離開(kāi)加工區

無(wú)塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實(shí)驗室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導致內外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內等突發(fā)狀況；2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(cháng)亮，達到設置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

無(wú)塵潔凈烤箱內外應經(jīng)常保持清潔，長(cháng)期不用應罩好塑料防塵罩，放在干燥的室內，高溫狀態(tài)下禁止打開(kāi)箱門(mén)，加熱過(guò)程中務(wù)必風(fēng)機是正常運轉，嚴禁安裝在潮濕的環(huán)境下運行，操作人員熟悉無(wú)塵潔凈烤箱的結構、性能、工作原理及調整方法，操作方法及保養知識。

檢查無(wú)塵潔凈烤箱是否符合生產(chǎn)要求，檢查臺車(chē)烘箱各緊固件是否松動(dòng)，開(kāi)機操作前檢查臺車(chē)烘箱是否有漏電現象，若漏電嚴禁操作使用，并及時(shí)查出原因。 加入待烘干物料，物料的厚度不得超過(guò)3cm，合上電源總開(kāi)關(guān)，電源指示燈亮。 按下無(wú)塵潔凈烤箱啟動(dòng)按鈕，風(fēng)機運轉，溫控器通電。初次使用應檢查風(fēng)機轉向，右側風(fēng)機從電機端看進(jìn)去應為逆時(shí)針轉，轉向不符應改變電源相序。

一般精密烘箱的內部循環(huán)方式有水平送風(fēng)和垂直送風(fēng)，為了達到內部無(wú)塵的環(huán)境，需要在出風(fēng)口的位置增加高溫過(guò)濾裝置（又分為千級和百級過(guò)濾器）。烘箱內的空氣通過(guò)回風(fēng)口后，一部分經(jīng)過(guò)排氣口排除箱外，另外的經(jīng)過(guò)循環(huán)通道再次加熱，后通過(guò)過(guò)濾器后回到工作室。除了過(guò)濾空氣外，另外要盡量避免工作過(guò)程中產(chǎn)生灰塵，需要選用的材料、電器。如加熱管需要在高溫下不能產(chǎn)生顆粒。