穩定劑在拋光液中起到穩定和調節pH值的作用。它能夠防止氧化鋁微粒在拋光過(guò)程中團聚和沉積,保持拋光液的均勻性和穩定性。同時(shí),穩定劑還能調節拋光液的酸堿度,以適應不同材料的拋光需求。
氧化鋁拋光液作為一種常用的表面處理劑,具有良好的拋光效果和穩定性。正確選擇和使用拋光液,可以提高材料的表面質(zhì)量和光潔度,達到預期的拋光效果。
氧化鋁拋光液是一種以多晶氧化鋁為主,氧化鋁顆粒大小均勻,相比氧化硅拋光液加工效率提高約3-4倍,成本節約30-50%,加工流程縮短,且不會(huì )在工件表面上形成硅元素結晶,減少清洗成本。
目前市場(chǎng)上使用為廣泛的幾種磨料是SiO2、CeO2、Al2O3。其中Al2O3憑借其硬度高、穩定性好等優(yōu)點(diǎn),廣泛應用于藍寶石、碳化硅等材料的CMP技術(shù)中。Al2O3具有10余種晶型,其中常見(jiàn)的為α、β、γ等,一般選用50~200nm粒徑分布均勻的α-Al2O3作為拋光磨粒。
氧化鋁拋光液,涉及半導體碳化硅晶圓拋光材料制備技術(shù)領(lǐng)域,其所用原料的重量百分比分別為:氧化鋁0.5?55、氧化劑0.05?25、抑制劑0.1?10、表面活性劑0.01?12、分散劑0.01?15、pH調節劑0.1?10、余量為高純水;其制備過(guò)程為:①備料;②磨料預處理;③混合;④pH值調節;⑤高壓均質(zhì)。
氧化鋁拋光液是一種廣泛應用于金相樣品拋光的材料。這種材料具備納米級的特點(diǎn),它擁有猶如牛奶般絲滑的質(zhì)感,和被它拋光的東西一樣,它的樣子也是十分美觀(guān)。