熱風(fēng)循環(huán)烘箱是一種廣泛應用于工業(yè)生產(chǎn)中的設備，主要原理是利用強制循環(huán)的熱風(fēng)將物料表面和內部的水分蒸發(fā)，從而達到烘干的目的。該設備通常由箱體、加熱系統、通風(fēng)系統、傳動(dòng)系統、控制系統等組成。加熱系統可以采用電加熱、液體燃料或者天然氣等不同的熱源，通風(fēng)系統則通過(guò)過(guò)濾器使空氣與物料接觸更加均勻。在工作時(shí)，物料被放置于烘箱中，通風(fēng)系統通過(guò)過(guò)濾器吸入空氣，經(jīng)過(guò)加熱后形成熱風(fēng)并強制循環(huán)，這樣熱風(fēng)就能夠充分地接觸物料表面和內部的濕氣，使濕氣蒸發(fā)出去。在循環(huán)的過(guò)程中，熱風(fēng)也會(huì )帶走一些揮發(fā)性物質(zhì)，使物料表面更為干燥。

石墨舟的維護主要包括以下幾個(gè)方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過(guò)程中會(huì )積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時(shí)，可以使用無(wú)腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無(wú)絨布進(jìn)行擦拭。烘干石墨舟時(shí)，應將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時(shí)。
檢查和維修：石墨舟在使用過(guò)程中可能會(huì )發(fā)生損壞，因此需要定期檢查。檢查時(shí)，應檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發(fā)現損壞，應及時(shí)維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應存放在干燥、清潔的環(huán)境中。存儲時(shí)，應將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進(jìn)行保護。

石墨舟是用于半導體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長(cháng)使用壽命至關(guān)重要。